隔膜式真空泵是近年来新开发的精密操作真空设备，适用于实验室和制造行业的真空系统。它由电动机、调节器、齿轮减速箱、隔膜泵、气源料箱、油箱等部分组成，可用于封闭式质子交换膜污水处理系统、制冷系统、蒸气管线系统、空气过滤系统，以及固体颗粒物过滤和抽湿系统等。
隔膜式真空泵主要由低压电机、可调历程特性的调节器、减速机、隔膜泵、气动和气力控制装置等几大部分组成。它的特点是结构紧凑、运行可靠、易操作、低耗能、抽气压力范围更大，适用于抽低压的空气（正压可达270 mbar）。
隔膜式真空泵的精确操作对其使用效率以及实际工作的质量有着至关重要的影响。在实际操作与维护中，应当尽量减少起动电流的波动，提高电机的动力性能，以此提高工作的稳定性。同时，应当注意控制机械振动以及噪声，使用正确的压力参数，以降低噪声污染。此外，在拆卸清洁时也应当格外注意，尽量减少零部件的损坏，以便确保设备能够正常运行。
隔膜式真空泵的应用非常广泛，主要用于实验室、电子制造行业、制冷行业、空气净化行业、食品行业、化工行业、空调设备行业等。应用于食品行业时，可用于对水料进行真空脱水，以达到除湿稳定水料的效果；应用于制冷行业，可用于真空加热；应用于化工行业，可用于分离油气、抽真空加工、混合等。
由于隔膜式真空泵具有低噪声、低漏气率、低起动电流和稳定可靠性等特点，所以在工厂、实验室、空调厂等行业得到了越来越广泛的应用和推广。尤其当配合先进的控制系统以及经过精密调整时，更是有了更多有效的应用。
